化學性能非常穩定，耐強酸，包括極強的路易氏酸，耐強碱。與接觸的任何特種氣體如氟氣，強腐蝕性物質，強氧化劑，還原劑均不發生反應

應用：1.用於半導體工業真空泵油，得到世界著名真空泵製造商，如萊寶Leybold、愛德華Edwards、荏原Ebara等的認可。

2.尤其半導體芯片加工過程中的蝕刻和沉澱過程特種氣體處理。