氟化氫傳感器（HF傳感器）

電流型3極傳感器
極高的選擇性
可檢測酸性氣體
穩定性好

典型應用
TLV-監測
半導體工業，一般工業場所

技術參數

測量範圍：0－10ppm
靈敏度範圍：600nA/ppm±200nA/ppm
在 20℃時的零電流：<±100nA
在 20℃時的分辨率：<0.25ppm
基準電位：0mv
線性性：<滿量程%5

在20℃ 時的反應時間：
t50  暴露在空氣中5分鐘時,小於40S
t90　暴露在空氣中5分鐘時,小於90S

長期靈敏度飄移:<10%/月

工作條件

溫度範圍:-20℃~+35℃
濕度範圍:15~90%RH,無凝結

濕度影響:劇烈的變化會引起零點讀數的漂移

傳感器期望壽命:>12月
質保期:38周

傳感器對溫度特別敏感,要注意傳感器使用時候的試驗條件及週圍環境
sensoric通常通過使用HCL的交叉靈敏度來校準數據
在規定的溫度範圍內,傳感器溫度特性
a) 零點讀數小於0.5ppm
b) 在 時靈敏度小於20%

20℃時的交叉靈敏度
氣體                                                  濃度                讀數
醇類                                                1000ppm              0
氫                                                    3000ppm             0
硫化氫                                             20ppm                 0
氯氣                                                1ppm                  0.4
一氧化碳                                         100ppm               0
氯化氫                                             10ppm                6.6                   
一氧化二氮                                      10ppm                  0

注意:
1.不同傳感器干擾因素不同,壽命不同.不提倡校準干擾氣體.
2.此表沒有涵蓋所有的氣體,傳感器可能會對其它氣體敏感