YA-60型全自動氬氣純化裝置 ◆工作原理 YA型高純氬氣純化裝置採用非蒸散型鋯鋁16吸氣劑為淨化劑，在一定的溫度下，吸氣劑可與氬氣中的微量雜質O2、N2、H2、H2O、CO、CO2、CH4等等形成穩定的化合物或固溶體，從而達到對氬氣精製的目的。 ◆ 主要技術指標 雜質要求： 雜質 N2 O2 CO2 CH4 露點 含量ppm <100 ≤15 <5 <5 -50℃ 處理氣量：1m3/h 工作壓力0.2-0.4MPa 純氬純度： 雜質 N2 O2 CO2 CH4 露點 含量ppm ≤0.2 ≤0.2 ≤0.5 ≤0.5 -70℃ 含塵量 ≤3.5顆/升（對於粒徑≥0.5μm塵埃） 3.淨化劑壽命：每爐可處理99.99％的氬氣2500-3750m3 4.操作溫度：700-740℃ 5.外形尺寸：寬450×深760×高1457mm 6.電源：~50Hz 220V 7.功耗：1.2Kw 8.重量：≈120Kg ◆特點 本裝置淨化器採用特殊結構，具有接觸面積大，阻力小，淨化效率高，熱功損耗小等優點。本裝置可與區熔硅單晶爐配套使用可用於激光器、濺射、半導體生產，氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的生產技術領域。