JYL／GL-1200 DJ 型程控管式爐沉積設備

產品描述

用　途:	主要適用於在高、中溫及真空條件下完成的多種工藝
用　途:	（例如：沉積、退火、催化、氧化、合金等）。
組成部分：	①、程控微型管式爐（可編程智能 PID 調節器及高溫微型爐體）
	②、氣體控制系統（含兩路 MFC 及氣體管路部件）
	③、真空操作系統（含真空泵，數顯真空計，截止閥，調壓管路）
	④、密封冷卻水套、顆粒過濾器及工藝管
● 爐管直徑:	Ф70mm（還可以根據使用需要定做）［工藝管外徑Ф52mm ］
● 爐體長度	500mm ［工藝管長度 1000 mm ］
● 最高溫度：	1200 ℃
● 溫度使用範圍：	100 ℃ ～ 1200℃
● 控溫精度：	≤ ± 1℃
● 控溫方式：	程序調節時按編程曲線控制溫度的升、降速率及恆溫的定時控制（可編程 4 條曲線）
● 系統極限真空度：	優于 5 Pa
● 流量量程：	0～500SCCM
● 流量控制精度：	≤±2％F.S
● 供電電源：	380V / 220VAC ； 16A 50Hz ( 三相五線制 )
備注	詳細參數請見我公司網站或來電話咨詢。手機用戶可發送“電子專用設備”到12114即可登陸我公司網站