測量顯微鏡廣氾應用於半導體,電子工業進行晶體，集成電路的檢驗和精確測量。配備有冷光源光纖反射照明，成像和觀察系統，偏光裝置。

● 無限遠光學系統,管鏡焦距200mm

● 鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜，瞳距55-75mm

● 高眼點、視場目鏡WF10X/22

● 五孔物鏡轉換器

● 長工作距離平場復消色差物鏡

Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,

Plan Apo 5X/0.14   W.D. 45mm 分辨率2μm,

Plan Apo 10X/0.28  W.D. 34mm 分辨率1μm,

Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm

Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm

● 調焦系統同軸粗微調焦機構,微動格值0.002mm

● 載物台  6″x8″雙層活動平台,移動行程153x204mm

● 三維測量系統  

分辨率： 1μm

測量精度:  ±(2+L/200)μm

重複定位精度:  2μm

照明系統  Illumination  System

●     冷光源光纖反射照明器：12V150W，特別明亮清晰

●     選配：

完善和全面的測量軟件

--------完整的幾何量測(如:點,線,圓,弧,角度等)

--------坐標系的設定，擺正,旋轉

--------顯示方式多樣化；語言的轉換，公英制單位的轉換,角度的轉換