設備特點：
●精密輕巧的架構
●合人體工學設計
●低廉實惠的價格
●可以做光電方面測試應用
●LED/LD/PD的光強/波長測試
●可以進行射頻測試，加裝東/西方向針座
●適合大學實驗室通用
●適合4"或6"以下晶圓測試
●Chuck透過x-y方向螺桿傳動
●無後座力移動
 
設備規格：
●真空吸附型CHUCK4" 不鏽鋼材質
●Chuck 行程 X-Y方向行程4" x4"
●Chuck 可旋轉角度 細調0~15 ° 粗調270°
●平台可放置6 個針座
 
設備需求：
●電力110 VAC, 60Hz
●真空-250 mmHg, 7 liter/min 

設備尺寸：
***mm長 x ***mm寬 x ***mm高 （帶顯微鏡） 重 *** Kg （帶顯微鏡） 

設備可選附件：
●Z軸UP DOWN
●Chuck推拉裝置
●顯微鏡傾仰裝置和快速右傾裝置
●光強/波長測試界面部件
●射頻測試探頭和線纜
●有源探頭
●低電流/電容測試
●高壓測試
●超聲切割
●視頻系統(CCD system)
●顯微拍照系統(Video take picture system)
●加熱系統(Hot chuck system)
●液晶套裝
●防震墊
●屏蔽箱(shielding box)
●帶腳輪的儀器櫃
●真空吸附型Chuck
●鍍金Chuck