產品概述:

HFM系列是美國矽翔微機電系統有限公司採用世界領先的微機電系統（MEMS）流量傳感技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，壓損低。適用於淨化空氣或氮氣流量，還可用於環保監測儀器，如空氣采樣和分析儀器9GC頻譜儀）
HFM4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低，壓損小，測量範圍最大到5SLMP，適用於粒子計數器和分析儀器等。
HFM4008流量傳感器，測量範圍最大到50SLPM。可用於氣流測量和控制設備。潔淨氣體，如：空氣采樣機，氣體分析儀等。

產品特點:

    - 專為管徑為3mm-8mm的固定氣道中的低壓氣體流量測量而設計
    - 卡口式設計為多管路集成測量而設計
    - 快速地響應時間利於精密測量應用 
    - 可變機械連接方式可輕鬆安裝于不同的應用環境中
    - 內置安全插件可適用於更多的應用

產品特點:
通徑 3     8    mm
最大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 >100:1 　
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重複性 ±0.75 %
最大壓力 1.0 MPa
工作溫度 -10~55 oC
濕度 < 95 %HR
電源 8-24Vdc, 50mA  
輸出方式 RS232, I2C, 模擬  
機械接口 NPT, BSPT 或根據需要定製  
校準條件 空氣, 20oC, 101.325 kPa

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