目前制備化工行業用超純水的工藝基本上是以上三種，其餘的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面：
　　 1、第一種採用離子交換樹脂其優點在於初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸碱，而且對環境有一定的破坏性。
　　 2、第二種採用兩級反滲透設備，其特點為初投次比採用離子交換樹脂方式要高，但無須樹脂再生。其缺點在於相關膜原件需定期清洗或更換，水質相對來說不是太高，大都只能做到1us/cm左右，所以在不質要求更高的時候常採用一級反滲透後面再用混床（陰陽復床）把關。
　　 3、第三種採用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水最經濟，最環保的超純水制備工藝，不需要用酸碱進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什麼破坏性。其缺點在於初投資相對以上兩種方式過於昂貴。