UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡單，經濟，快速獲得超潔淨的表面，去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁*等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。獲得超潔淨的表面，只需要在傳統清洗后，再用紫外臭氧清洗過程幾分鐘就可以啦。

紫外臭氧清洗可以去除：
皮膚油脂，有機硅油和油脂，助焊劑，殘留的光刻膠，膠水溶劑，碳等。

怎樣說是“超”潔淨？
接觸角測量方法4－5度。適用AES和ESCA測量細微的峰值。使用蒸汽測試，在冷凝和蒸發時形成一致的彩虹裝的條紋。通常情況下，使用清洗或是超聲清洗工序后，清潔關鍵表面認為完成。紫外臭氧清洗提供一種新的清洗尺度。在傳統清洗工序后加入紫外清洗的應用，產品的性能和可靠性的提升不斷的証明這種新的清洗尺度的價值。

紫外臭氧清洗工作原理：
UVOCS清洗設備的核心是低壓石英汞燈，產生254和185nm範圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產生，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發或分解。激發的有機污染物可以和等離子氧原子反應形成氣體，比如CO2,H2O等。整個過程在室溫**發生，並且只需要1到幾分鐘完成。

*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃。這種現象是由於基材吸收UV能量， 而不是一種塗層。這種氧化鋁在加熱情況下會轉化為他原來的顏色。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度。在大多數應用，元件溫度可以視為室溫。

關鍵特性:
·間歇式燈泡工作方式。燈和定時器通過關閉門來觸發。
·滑行部件托盤－光滑－低震動，滾珠軸承系統－高度到1.5英吋。
·堅固耐用，全部不鏽鋼結構
·長壽命。低壓石英水銀蒸汽燈發射254nm和185nm UV，促進快速氧化，去除微量的有機殘留物。
·全面UV保護讓設備操作更安全。
·更低設備採購成本和操作成本。
·0-999秒/分鐘/小時定時器，能夠精確控制。燈和定時器通過門關閉來觸發。
·臭氧排氣護罩：UVOCS托盤型號有一個臭氧護罩，可以允許UVOCS清潔設備放在你的生產線或是設備，和過程相關設備放在一起。這會使得材料的再污染最小化。一個3英吋排氣出口內置在護罩的後面，可以連接到你的排氣系統。沒有提供排氣風扇。最小排氣量需求為100CFM.(立方英呎/分鐘)
·在操作過程結束時有蜂鳴聲。
·UV "ON"指示燈和可見窗口。
·操作簡單：設定定時器，打開門，抽出托盤，將元件放在托盤上。將托盤滑入並關閉門。在清洗操作過程結束有蜂鳴聲。打開門，移開全部的清洗元件。