塵埃粒子檢測

檢測方法：採用測試計數濃度法，即通過測試潔淨環境內單位體積空氣中含大於或等於某粒徑的懸浮粒子數，來評定潔淨室（區）的懸浮粒子潔淨度級別。

檢測狀態：靜態。

最少采樣點數目：

采樣點的位置：

（1）采樣點一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻佈置。

（2）采樣點多於5點時，也可以在離地面0.8m～1.5m高度的區域內分層佈置，但每層不少於5點。

（3）采樣點的限定：對任何小潔淨室或局部空氣淨化區域，采樣點的數目不得少於2個，總采樣次數不得不于5次。每個采樣點的采樣次數可以多於1次，且不同采樣點的采樣次數可以不同。

采樣量：

（1）為確認A級潔淨區的級別，每個采樣點的采樣量不得少於1立方米。A級潔淨區空氣懸浮粒子的級別為ISO 4.8，以≥5.0μm的懸浮粒子為限度標準。

（2）在確認級別時，應當使用采樣管較短的便攜式塵埃粒子計數器，避免≥5.0μm懸浮粒子在遠程采樣系統的長采樣管中沉降。在單向流系統中，應當採用等動力學的取樣頭。

空氣懸浮粒子的標準規定：

2：操作

本次懸浮粒子檢測區域限定為百級和局部百級（A級），采樣量不得少於1立方米，以≥5.0μm的懸浮粒子為限度標準。