YZ-2020天線耦合石英鐘罩式微波等離子體化學氣相沉積裝置
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| 型號： | YZ-2020 |
|---|---|
| 品牌： | 宇正 |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 工業設備 / 其他工業設備 |
| 標籤︰ | 等離子體 , 氣相沉積 , 天線耦合 |
| 單價： |
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| 最少訂量： | 1 台 |
產品描述
- 裝置採用2XZ-4旋片式真空泵。配有熱偶規真空計和壓阻規真空計測量不同範圍真空度。本底真空0.1pa。工作真空由高真空隔膜閥粗調和高真空微調閥細調手動控制並由相應的真空計測量顯示。
- 微波發生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0－800W連續可調（最大功率可達1200W）。帶有微波輸出功率顯示（精確至1W）和反射指示。可長時間連續工作。
- 微波系統配有環行器、帶反射功率檢測的水負載、三螺釘阻抗調配器、模式轉換器、微波諧振腔。整個系統無微波洩露。
- 兩路氣體輸入，可用氮氣、氧氣、氫氣、甲烷等常用氣體。氣體流量採用玻璃轉子流量計(德國引進技術)顯示和調節並由高真空微調閥手動控制。按用戶要求亦可選用多路質量流量控制器和質量監控顯示盒組成的自動控制氣路系統，費用另計。
- 沉積室由外徑130mm的石英罩、石英均流罩和可手動昇降的石英基片台（和石墨基片台）組成。採用反應氣體均流措施，改善了沉積環境。在沉積金剛石膜時，工作氣壓3—13Kpa，基片以微波等離子體的自加熱實現加溫可達500—1100C。
- 裝置常規採用380V三相電源。按用戶要求亦可採用220V單相電源。
- 根據用戶要求，裝置可選配先進的自動控制與保護系統，當水、電或氣出現故障時，裝置會報警並自動關機，可實現長時間無人值守與穩定運行，特別適用於金剛石薄膜沉積。
會員信息
| 合肥宇正等離子體技術有限公司 | |
|---|---|
| 國家/地區︰ | 安徽省合肥市 |
| 經營性質︰ | 生產商 |
| 聯繫電話︰ | 15212790559 |
| 聯繫人︰ | 鄔明旭 (副總經理) |
| 最後上線︰ | 2010/11/06 |
