激光調阻機解決方案
產品特點:調阻精度高
先進的激光器提供了TEM00高光束質量和極細線寬的激光束
四線制高速測量系統,測量時間僅為25us
擁有軟件預調誤差補償功能
調阻速度快
先進的激光器擁有極高的重複頻率,在保証光斑重疊率的情況下能擁有很高速度
德國進口掃描振鏡,掃描速度極快
高精度分步重複機構,空氣軸承,移動速度及加速度快
可靠性高
整機配置核心器件均採用原裝進口配置
採用花崗岩台座,穩定可靠
功能強大
擁有溫度實時補償功能
同時具有激光划片和打標功能
運行及維護成本低廉
採用半導體端面泵浦或光纖激光器
使用壽命長,性能穩定
電光轉換效率高,節約用電成本
採用風冷系統,無須外置冷卻設備
操作簡單,無須高額培訓成本
激光調阻機技術參數:
激光器系統
激光類型:半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
激光波長:1064/532/355nm
激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355)
激光頻率:200Hz-50KHz
典型光斑尺寸:30µm
實際切口取決于材料、光學器件和波長;可根據需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達12µm
泵浦源使用壽命:20,000—100,000小時
冷卻方式:風冷
對焦方式:計算機程序控制
激光束定位系統
激光束運動範圍:75mmX75mm(可選配其他規格)
點到點運動時間:5ms(典型)
最大速度:7000mm/s
重複定位精度:2.5µm
激光束最小步進:0.76µm
圖像監視系統
監視方式:激光同軸監視
最大放大倍數:>100倍
圖像監視顯示屏:19寸液晶
測量系統
激勵方式:電流/電壓激勵
恆流源:0.01µA~100mA計算機程控選擇
恆壓源:0~20V計算機程控選擇(可選其它電壓範圍)
電阻測量方式:四線制加電流測電壓
直流電壓測量:10mV~10V(滿程電壓)
調節對象發熱控制:程序可設定
電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
電阻測量範圍:0.01Ω-500MΩ
電阻測量速度:25µs
直流電壓分辨率:0.16µV(在10mV滿量程條件下)
探針板:44針11組四線制(可選其它規格)
探針板運動:計算機程序控制
計算機及軟件系統
工業控制計算機(雙核),17寸液晶
操作系統:Windows XP
VB平台開發的可視化應用軟件,界面友好,功能強大
分步重複運動系統
運動XY範圍:290x260mm
運動分辨率:1µm
定位精度:小於6µm(帶誤差補償)
重複定位精度:小於3µm
最大運動速度:900mm/s
具有溫度補償等功能
非接觸溫度測量
溫度測量精度:0.2℃
調阻溫度修正:計算機程序控制
其它技術指標
供電電壓:220V AC
整機功耗:小於1000W
激光調阻機應用和市場:
主要應用於厚膜、薄膜電路的精密調節。廣氾應用於
厚膜混合集成電路
電子元器件
汽車電器
傳感器
軍工科研
片式電阻等行業