PORTER 液體質量流量控制器
| 型號： | P2000i、D2000i |
|---|---|
| 品牌： | PORTER |
| 原產地： | 美國 |
| 類別： | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 流量儀表 |
| 標籤︰ | 流量控制器 |
| 單價： |
-
|
| 最少訂量： | - |
產品描述
設計特點
· 壓電式控制閥
· 金屬密封結構
· 響應時間快
· 設計緊湊
· 316L/316SS不鏽鋼結構
· 高精度達± 1％
P2000i系列液體質量流量控制器被設計用於要求對小流量液體進行快速、精確控制的領域。其簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨特的熱式測量系統提供精確的測量，同時液體溫度上升小於5度。高級的控制迴路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進行 快速、穩定的控制。 P2000i系列同時也包括有一個液體質量流量計，用於那些不需要進行流量控制的場合。
D2000i系列液體質量流量控制器被設計用於要求對液體快速、精確控制的半導體製造工藝。數字控制迴路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小於1秒。潔淨空間內的裝配工藝和全金屬密封結構確保（高純度和洩漏完整性）。獨特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量，同時液體溫度僅上升5度，此外，D2000i的簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
· 壓電式控制閥
· 金屬密封結構
· 響應時間快
· 設計緊湊
· 316L/316SS不鏽鋼結構
· 高精度達± 1％
P2000i系列液體質量流量控制器被設計用於要求對小流量液體進行快速、精確控制的領域。其簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨特的熱式測量系統提供精確的測量，同時液體溫度上升小於5度。高級的控制迴路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進行 快速、穩定的控制。 P2000i系列同時也包括有一個液體質量流量計，用於那些不需要進行流量控制的場合。
D2000i系列液體質量流量控制器被設計用於要求對液體快速、精確控制的半導體製造工藝。數字控制迴路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小於1秒。潔淨空間內的裝配工藝和全金屬密封結構確保（高純度和洩漏完整性）。獨特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量，同時液體溫度僅上升5度，此外，D2000i的簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
液體流量計和控制器技術參數
流量範圍 ： P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以異丙醇（IPA）來標定的，在測量其它液體介質時需要乘以一個校正係數，具體請參考表一
響應時間 ： P2000i系列 ： 2s（ 設定點的2％之內 ）
D2000i系列：＜1s（ 流量的5％之內 ）
精度和線性 ：± 1％滿量程（P2000i系列）；±1％讀數（D2000i系列）
重複性 ： P2000i系列：＜±0.2％滿量程（任意連續溫度下）
D2000i系列：＜±0.2％讀數
量程比： P2000i系列：50：1（2％-100％滿量程）
D2000i系列：20：1（5％-100％滿量程）
最大操作溫度 ： 40℃（104℉）
最大操作壓力： 125PSIG
溫度係數 ：＜ 0.1％/℃
>設定點輸入 /流量輸出信號 ： 0-5VDC/0-5VDC（輸出流量信號時：需最小2KΩ電阻）
供電電源 ：﹢ 15VDC±10％（電流消耗＜200mADC時）
洩露率 ： 1х10 -9 atm.cc/s He
預熱時間： 10分鐘（P2000i系列）；20分鐘（D2000i系列）
電氣連接 ： 9針D型
入口 /出口過程連接 ： 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制閥 ：壓電式常開
內置容積 ：＜ 0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）
重 量 ：≤ 0.68Kg
結構材質
主體： 316LSS
傳感器組件 ： 316LSS
閥構成部件 ： 316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列）
“ O”型環：316LSS
會員信息
| 北京頗特儀器有限公司 | |
|---|---|
| 國家/地區︰ | 北京市朝阳区 |
| 經營性質︰ | 貿易商 |
| 聯繫電話︰ | 13400000000 |
| 聯繫人︰ | 朱小姐 (市場部助理) |
| 最後上線︰ | 2014/05/24 |
