型號: | DEKATK150 |
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品牌: | VEECO |
原產地: | 美國 |
類別: | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 電子測量儀器 |
標籤︰ | 臺階儀 , 探針輪廓儀 , 鉑悅儀器 |
單價: |
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最少訂量: | 1 台 |
集40多年的探針輪廓技術創新于一身,該系統在行業內的表現遙遙領先,以重現性最佳和標準掃描範圍最大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項,用於程序化測量、低探針力表征和細節分析
臺階儀Dektak 150 表面輪廓儀(探針式)
規格:
測試技術:探針輪廓技術
測試功能:二維表面輪廓測試
樣品視場:640*480像素,USB;17 inc 平板顯示器
探針傳感器:低慣量傳感器(LIS 3)
探針壓力:使用LIS 3傳感器:1至15 mg
使用N-lite傳感器:0.03至15 mg
探針選項:探針曲率半徑可選範圍:50 nm至25 um;
高徑比針尖:10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物台:手動X/Y/@:100*100 mm, 360度旋轉,可手動校平;
可選Y自動移動載物台,100 mm行程,1um重現性,0.5 um分辨率;
可選X-Y自動移動載物台,150 mm行程;
1um重現率,0.5 um 分辨率
計算機系統:主機使用celeron或者semprom處理器
軟件:Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置:可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度範圍55mm(2.1英吋)
每次掃描數據點最多12萬數據點
最大樣品厚度高達90 mm (4英吋),取決于配置
最大晶圓尺寸150 mm(6英吋)
臺階高度重現性6埃
垂直範圍:標準524um(0.02英吋);可選1mm
垂直分辨率:最大1A(6.55um垂直範圍下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
電源要求:
輸入電壓:100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
有意者可詳談!
鉑悅儀器(上海)有限公司 | |
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國家/地區︰ | 上海市松江区 |
經營性質︰ | 貿易商 |
聯繫電話︰ | 18821165029 |
聯繫人︰ | 市場部 (銷售支持) |
最後上線︰ | 2020/07/27 |