探針輪廓儀(臺階儀)DEKATK150

探針輪廓儀(臺階儀)DEKATK150
型號:DEKATK150
品牌:VEECO
原產地:美國
類別:電子、電力 / 儀器、儀表 / 電子測量儀器
標籤︰臺階儀 , 探針輪廓儀 , 鉑悅儀器
單價: -
最少訂量:1 台

產品描述

40多年的探針輪廓技術創新于一身,該系統在行業內的表現遙遙領先,以重現性最佳和標準掃描範圍最大而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項,用於程序化測量、低探針力表征和細節分析

臺階儀Dektak 150 表面輪廓儀(探針式)

規格:

測試技術:探針輪廓技術

測試功能:二維表面輪廓測試

樣品視場:640*480像素,USB17 inc 平板顯示器

探針傳感器:低慣量傳感器(LIS 3

探針壓力:使用LIS 3傳感器:115 mg

          使用N-lite傳感器:0.0315 mg

探針選項:探針曲率半徑可選範圍:50 nm25 um;

          高徑比針尖:10 um * 2 um 200 um*20 um

樣品載物台:手動X/Y/@100*100 mm, 360度旋轉,可手動校平;

            可選Y自動移動載物台,100 mm行程,1um重現性,0.5 um分辨率;

            可選X-Y自動移動載物台,150 mm行程;

            1um重現率,0.5 um 分辨率

計算機系統:主機使用celeron或者semprom處理器

軟件:Dektak軟件

      臺階檢測軟件

      可選應力測量軟件

      可選三維Vision分析軟件

      可選縫合軟件

減震裝置:可選桌式震動隔離裝置

          可選臺式震動隔離裝置

性能

掃描長度範圍55mm(2.1英吋)

每次掃描數據點最多12萬數據點

最大樣品厚度高達90 mm (4英吋),取決于配置

最大晶圓尺寸150 mm(6英吋)

臺階高度重現性6

垂直範圍:標準524um(0.02英吋);可選1mm

垂直分辨率:最大1A6.55um垂直範圍下)

尺寸:292 mm *508 mm*527 mm

重量:34 kg

電源要求:

輸入電壓:100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

 

有意者可詳談!

探針輪廓儀(臺階儀)DEKATK150 1

會員信息

鉑悅儀器(上海)有限公司
國家/地區︰上海市松江区
經營性質︰貿易商
聯繫電話︰18821165029
聯繫人︰市場部 (銷售支持)
最後上線︰2020/07/27