技術數據

入口法蘭                       DN63ISO-K

壓縮比

N2                             >1 x 10E11

He                             1 x 10E6

H2                             5 x 10E4

出口法蘭                       DN16NW

級間口（Hi型）                DN25NW

前級泵（推薦）                 E2M0.7

放氣口                         1/8 inch BSP

吹掃淨化口                     1/8 inch BSP

最高入口壓力（抽輕氣體） *

水冷（水溫15°C，大氣溫度40°C）     2 x 10E-2 mbar

空冷（大氣溫度35°C）                 1 x 10E-2 mbar

額定轉速                       90000 rpm

工作轉速                       49500～90000 rpm （缺省 63000 rpm）

轉速達到90%所需時間 **        110 s

冷卻方式                       空冷/水冷

大氣溫度（空冷）               5-35 °C

冷卻水最低流速（水溫15 °C）    15 l/h

水溫範圍                       10-20 °C

入口法蘭最高溫度               100 °C

工作姿態                       垂直

噪音（1m處）                  <50 dB(A)

控制器（推薦）                 TIC100 渦輪控制器或TIC100渦輪儀表控制器

靜止功耗                       10 W

級間泵速（Hi型）               4 l/s

泵速 ***

N2                             61 l/s

He                             57 l/s

H2                             53 l/s

極限真空（mbar）

前級泵選用旋片泵               <5 x 10E-9

前級泵選用隔膜泵               <5 x 18E-8

重量                           3.0 kg

Edwards  EXT75DX 復合渦輪分子泵

  兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

並口，用於傳統控制信號接口。

串口，用於RS-232接口。

通過RS-232接口，用戶可以設置各種參數RS-232。

放氣閥控制設置。

正常泵速顯示。

準備轉速顯示。

可編程功耗調整。

泵溫。

增強型泵速、功耗、溫度監測。