5kw曝光機

產品描述

品名	規格
機種	5KW雙麵線路曝光機
型號	Basic-530i
機器尺寸	1550mm(w)X2000mm(D)X1730mm(H)
淨重	800KG
電源	AC380V，3f，50HZ/60HZ，100A
光源	2PCS高壓汞燈（即亮型）保用8000次
燈管冷卻	採用內外水套迴圈直接純水冷卻。（溫度可設定）
台面冷卻方式	強制過濾風冷卻
曝光方式	即亮型
真空效果	採用日本SMC氣壓控制系統，真空度達90Pa以上
解析度	4/4mil線寬線距以上
有效曝光面積	680mmX860mm
曝光台面	MYLAR 玻璃X2, 電磁鎖控制
曝光均勻度	5點80%以上
使用環境條件	室溫25℃, 濕度55℃之清潔環境
曝光控制器	智慧型人機介面, 能量積量控制系統
環境配合設備	(1)15噸冷卻塔，迴圈水管出入口管徑1-1/4”配管，廢水排水管為1/2”； (2)19KVA電力系統NFB規格為三相100A； (3)工業用純水60升。