BRUKER 臺階儀 DEKTAK XT
| 型號： | DEKTAK XT |
|---|---|
| 品牌： | BRUKER |
| 原產地： | 美國 |
| 類別： | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 光學透鏡和儀器 |
| 標籤︰ | 臺階儀 , 輪廓儀 , VEECO |
| 單價： |
¥450000
/ 台
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| 最少訂量： | 1 台 |
產品描述
第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）
布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創新性的設計，可以提供無與倫比的重現性，重現性低於5Å。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術創新的頂峰，更加鞏固了其行業領先地位。通過整合其行業領先產品，DektakXT實現了最高性能。操作簡易，從研發到質量控制都有更好的過程控制。整合了技術突破到第十代Dektak臺階儀能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發光二極管（LED）、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。
Specifications規格
測量技術探針輪廓技術
測量功能二維表面輪廓測量
可選三維測量/
樣品視景可選放大倍率, 1 to 4mm FOV
探針傳感器低慣量傳感器(LIS 3)
探針壓力使用LIS 3傳感器：1 至15mg
低作用力（選配）使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至15mg
探針選項探針曲率半徑可選範圍：50nm至25μm
高徑比(HAR)針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客戶要求定製針尖
樣品X/Y載物台手動X-Y 平移：100mm (4 英吋)
機動X-Y 平移：150mm (6 英吋)
樣品旋轉台手動，360°旋轉;
機動：360°旋轉;
計算機系統64-bit 多核並行處理器, Windows® 7.0; Optional 23英吋平板顯示器
軟件Vision64操作及分析軟件；
應力測量軟件；懸臂偏轉；
縫合軟件；三維掃描成像軟件
減震裝置減震裝置可用
掃描長度範圍55mm (2英吋)
每次掃描數據點最多可達120,000數據點
最大樣品厚度50mm (2英吋) 最大晶圓尺寸200mm (8英吋)
臺階高度重現性<5Å, 1σ在1μm臺階上
垂直範圍1mm (0.039英吋)
垂直分辨率最大1Å ( 6.55μm垂直範圍下) 輸入電壓100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
溫度範圍運行範圍20 到25°C (68到77°F)
濕度範圍≤ 80%, 無冷凝
系統尺寸及重量455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅);
附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)
| 付款方式︰ | 面議 |
|---|---|
會員信息
| 鉑悅儀器（上海）有限公司 | |
|---|---|
| 國家/地區︰ | 四川省成都市 |
| 經營性質︰ | 貿易商 |
| 聯繫電話︰ | 13540223554 |
| 聯繫人︰ | 鄧娜娜 (銷售支持) |
| 最後上線︰ | 2019/03/13 |
