反滲透純水系統根據不同的源水水質採用不同的工藝。一般自來水經一級反滲透系統處理后，產水電導率＜10μS/cm，經二級反滲透系統后產水電導率＜5μS/cm甚至更低，在反滲透系統后輔以離子交換設備或EDI設備可以制備超純水，使電阻率達到18兆歐姆(電導率=1/電阻率)。反滲透設備是圍繞反滲膜而組織成的一套水處理系統，一套完整的反滲透系統分別由預處理部分、反滲透主機（膜過濾部分、后處理部分和系統清洗部分共同組成。