主要用於在125mm×125mm或156mm×156mm太陽能硅片上澱積氮化硅減反射鈍化膜。
產品特點：
◆送片方式：懸臂/軟着陸（推薦）
◆進口射頻電源、壓力控制系統、進口乾泵等。
◆進口數控鈑金機床加工，整機結構合理，媲美進口同類設備。
◆全面滿足用戶的技術指標要求，突出產品的穩定性，一致性。
◆工控機自動控制系統，工藝過程參數顯示、修改、記錄等，操作更加直觀便捷；
◆設備操作方便，模塊化設計，使用及維護方便；
◆方便的溫區調整方式（或自動溫區調整）更加快捷；
◆高質量的加熱爐體，確保恆溫區的高穩定性及長壽命。
主要技術指標：
◆工藝片數：125mm×125mm/256片/批，156mm×156mm/216片/批
◆爐體口徑：適應石英管外徑φ400mm
◆工作溫度範圍：150～500℃
◆恆溫區長度及精度：1100mm/±1.5℃
◆懸臂式送料裝置： 50mm/min～900mm/min連續可調
◆壓力控制範圍：100～300Pa（閉環連續可調）
◆極限真空度：1Pa
◆反射膜均勻性：片內≤±4%，片間≤±4%，批間≤±5%
◆沉積均勻性：≤±5%
◆內置的Profile TC 實時顯示工藝過程恆溫區內前、中、后三點的實際溫度