美國AALBORG質量流量計

Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的氣體質量流量計/控制器的生產
廠家，其產品廣氾用於微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學 、石油化工、醫藥、環保等領
域。產品特點：性價比高、響應速度快、可靠性高，易於集成、環路保護、備總
量計數器典型應用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、
表面處理等鍍膜工藝 。設計特點：－剛性金屬結構 －流程範圍從0開始到10
sccm直到0到1000slpm －最大壓力500psig（34.5Bar） －洩漏率1＊10-7氦
氣 －NIST系統標定可追蹤的証明 －可傾斜的LCD讀表 －0-5Vdc或4-20m
A信號輸出 －電路保護 －可用作便攜式的設備 －0到100％比例顯示 －可
配備流量計算機 精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（1
5℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（
標定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。 重複性：±0.5％滿量
程 回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒 溫度係數：
0.15％滿量程／℃ 壓力係數：0.01％滿量程／psi（0.07bar） 氣體
／週圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃） 輸出信號：0-5Vdc，最小
1000Ω。4-20mA、0-250Ω迴路電阻 傳感器輸出：＋12Vdc；
最大200Ω。