管式電阻爐

產品描述

管式電阻爐

應用領域

RGDL系列真空氣氛管式爐廣氾用於高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研製，試驗用碳纖維碳化、晶體硅板鍍膜、納米氧化鋅結構可控生長等等，也可用於金屬材料的擴散焊接及真空或氣氛保護下的熱處理。

主要特點

採用精鍊石英管或高純剛玉管作為爐膛，可拆卸的密封方式，具有良好的潔淨度和真空度，耐火保溫材料全部採用先進的輕質纖維制品，整機質量輕、低能耗。加熱元件採用優質硅鉬棒、硅碳棒或進口電阻絲；溫度控制系統採用原裝進口智能多段程序溫度控制儀控制，具有良好的穩定性、均勻性。

技術指標

設備型號	RGDL(D) 2/80/44	RGDL(Z) 1/60/30	RGDL(G) 3/60/60	RGDL(D) 1/50/70	RGDL(Z) 2/30/60	RGDL(G) 1/50/80
溫區個數	2	1	3	1	2	1
最高溫度	1100℃	1400℃	1650℃	1200℃	1400℃	1650℃
加熱區長度	440mm	300 mm	600 mm	500 mm	600 mm	500 mm
爐管尺寸及材料	Φ80石英管	Φ60剛玉管	Φ60剛玉管	Φ70石英管	Φ60高純剛玉管	Φ80高純剛玉管
裝機功率	5kw	8kw	18kw	8kw	10kw	12kw
備註：RGDL系列管式爐全部可以按照客戶要求通入各種惰性、還原性、反應性氣體，通過浮子流量計或質量流量計控制氣體通入量。同時還可以通過單機機械泵或真空機組預抽真空，系統具備冷態極限真空6.67×10﹣² Pa 。