技術參數 

1.真空度測量範圍：    9.999×10-1～1×10-6

    2.離子電流測量範圍：    9.999×10-1～1×10-7

3.測  量  誤  差：    ＜10%

    4.測 量 分 辨 率：    10-5pa

    5.允許環境溫度：    -20℃～50℃

    6.空  氣  濕  度：    ≤80%RH

    7.電          源：    AC，220V，50Hz±10%

    8.外  型  尺  寸：    420×290×210（mm）

9.高  壓  輸  出：    脈衝30kV15kHz

⒑重          量：    8kg