工作原理
◆ 空氣中的主要成分是氮和氧，利用環境溫度下，空氣中氮氣和氧氣在沸石分子篩（ZMS）上的吸附性能不同（氧氣能通過而氮氣被吸附），設計適當的工藝過程，而使氮和氧分離制得氧氣。氮氣在沸石子篩上的吸附能力比氧氣強（氮與分子篩表面離子的作用力強），當空氣在加壓狀態下通過裝有沸石分子篩吸附劑的吸附床時，氮氣被分子篩吸附，氧氣因吸附較少，在氣相中得到富集並流出吸附床，使氧氣和氮氣分離獲得氧氣。當分子篩吸附氮氣至接近飽和后，停止通空氣並降低吸附床的壓力，分子篩吸附的氮氣便可以解吸出來，分子篩得到再生並可重複利用。兩個以上的吸附床輪流切換工作，便可連續生產出氧氣。
◆ 氧氣和氮氣的沸點接近，兩者很難分離，一起在氣相得到富集。因此變壓吸附制氧裝置通常只能獲得濃度為90-95%的氧氣（氧的極限濃度為95.6%，其餘為氬氣）又稱富氧。與深冷空分裝置相比，後者能製成99.5%以上濃度的氧氣。

裝置工藝
◆ 變壓吸附空分制氧裝置的吸附床必須包含兩個操作步驟；吸附和解吸。為了連續獲得產品氣，通常在制氧裝置中都裝置兩個以上的吸附床，並且從能耗和穩定性的角度出發，另外設置一些必要的輔助步驟。每個吸附床一般都要經歷吸附、放壓、抽空或減壓再生、沖洗置換和均壓升壓等步驟，週期性地重複操作。在同一時間，各個吸附床則分別處於不同的操作步驟，在PLC的控制下定時切換，使幾個吸附床協調操作，在時間步伐上則相互錯開，使變壓吸附裝置能夠平穩運行，連續獲得產品氣。對於實際的分離過程，還必須考慮空氣中的其它微量組份。二氧化碳和水分在通常的吸附劑上的吸附能力一般要比氮和氧都大的多，可在吸附床內填加合適的吸附劑（或利用制氧吸附劑自身）使其被吸附清除。
◆ 制氧裝置所需的吸附塔數目取決于制氧規模、吸附劑性能和工藝設計思路，多塔操作時運行平穩性相對更好一些，但設備投資較高。目前的趨勢是：使用高效制氧吸附劑儘量減少
吸附塔數量並採用短操作週期，以提高裝置的效率並盡可能節約投資。

技術特點
1、裝置工藝流程簡單；
2、制氧規模10000m3/h以下，制氧電耗更低，投資更小；
3、土建工程量小，裝置安裝週期比深冷裝置短；
4、裝置運行和維護費用低；
5、裝置運行自動化程度高，開停車方便快捷，操作人員少；
6、裝置運行穩定性強，安全性高；
7、操作簡單，主要部件均選用國際知名廠家；
8、採用原裝進口制氧分子篩，性能優越，使用壽命長；
9、操作彈性強（負荷性優越，轉換速度快）。

技術指標
產品規模：100-10000Nm3/h
氧氣純度：≥90-94%，可根據用戶實際要求在30-95%範圍內調整。
制氧電耗：氧純度為90%時，折合為純氧的電耗（有用功）為0.32-0.37kWh/Nm3
氧氣壓力：≤20kpa（可增壓）
年開工率：≥95%