適用於PCB生產行業，此外應用於處理大型及複雜結構的工件。
    真空系統泵採用無油前級泵加羅茨泵泵組結構，即保証抽速，又保証腔體潔淨度，同時無油泵例如爪式干泵易維護、噪聲小、抽速快，相對於部分耐腐蝕的油泵來說，其維護以及運作成本大大降低，同時該泵是適合於強氧化氣體及含氟離子的特殊環境下工作的，大大提高泵體的壽命，羅茨泵的使用，是為在真空度低於1000帕時提高抽速，使之更快達到工作壓強，既分擔了單一泵體的工作壓力，又提高了效率。
    自動控制系統，採用PLC進行全程控制，性能穩定，功能全面， 人機界面友好，採用12.1或10.4英吋觸摸屏；或採用PC加顯示器進行控制，可設定工藝過程參數，可對大量實時數據進行採集記錄、打印，還具備事件報警，配方儲存，數據報表等強大功能，可用PID模式自動控制真空度、極板溫度等。 
    供氣系統，採用5路氣體質量流量計，分別用來控制不同的氣體，通過一定的技術處理，使用戶在計算機操作平臺上可以方便的置入工藝生產中所需的氣量。另外我們的供氣管道採用了進口的高精度拋光不鏽鋼管，內壁光滑、氣阻小，氣體的流量更加穩定可靠。
    電極系統，該設計對等離子激發空間均勻性大大改善，在同一平面上等離子刻蝕清洗的速率更加一致，控制電力參數由系統結構設計獲得，並能很好的控制電極的溫度均一性，總之，電極整套體系的結構及與之交互作用的參數的合時控制，使電極對等離子的可控性大大提高。
豎直電極的設計加上工件架的配合使用，使不同板材的PCB可以方便、安全可靠地放于電極之間，使電極間空間利用率達到最大。
    水平電極的設計可以根據現場需要調整電極板間距，以適用於不同外形尺寸的工件放置，靈活多樣而又保持一定的組合形式。保証質量且提高了效率。
    根據不同的電極結構，我們設計、製造了多種不同的工件架，分別應用於硬紙板材和軟質板。工件架的特點，裝卸方便、安全可靠，適合各種規格板材的擺放，保証了生產效率。工件架的設計結合了電極的結構，將電極之間的空間利用率達到最高。
    尾氣處理系統採用了水吸收HF的方式，並且在水中加入了弱碱進行中和反應，避免對環境造成二次污染。