系統特性 / System
高精準度
  .  ≦ ±15mm X及Y方向線面補償鑽靶精準度
  .  ≦ ±10mm 靶中心見靶鑽精準度
  .  X-ray Tube與 Camera同軸移動機構設計，提升靶標取像穩定度
  .  採用新世代高穩定度及高解析度的X-ray Camera
  .  程式設定鑽後檢查
  .  層偏及漲縮量測功能及檢查，以判別基板GO/NO GO” 並分類排出
  .  鑽軸採用無刷式直流馬達，同時具有高扭力輸出與最小軸心偏移量特性
  .  系統自我校正功能保證長時間量產時鑽靶的精準度
  .  自動壓板裝置於鑽靶前整平基板，確保鑽靶的精準度

高產能

  .  完整之學靶及鑽靶功能，方便各種作業
  .  鑽軸鑽靶距離 X方向  300 ~ 740mm / Y方向 0 ~ 600mm
  .  鑽靶資料與系統參數均可跟料號一起存取
  .  多靶標鑽靶功能
  .  程式化設定鑽軸上升速度及轉速
  .  鑽軸可設定成單獨鑽靶使用

絕佳的系統穩定性
  .  採用工業標準型X-ray光管，可因應長時間連續使用
  .  內建X-ray防洩漏包裝及隔離設計，保證無X-ray外洩發生
  .  鑽軸採自潤式軸承，延長鑽軸使用時間
  .  一體成型大麵積重型鑄鐵底座設計，增加機台作業穩定性

最佳化軟體

.  內建自動取像及平均設定功能
  .  內建X-ray Camera傾斜、旋轉、位移誤差自動校正軟體功能
  .  直接讀取二次元量測資料自動完成機台校正
  .  內建多種標準線補償、多靶標面補償及N/C鑽靶模式
  .  自動計算最佳化面補償鑽孔位置功能
  .  可選購各種非標準鑽靶作業模式與鑽靶分類功能
  .  可搭配選購各種具分類功能之收板機
  .  完整的SPC報告

系 統 規 格 / System Specifications
-鑽孔直徑:        j2.0mm ~ 6.0mm(j3.175mm柄徑)
  Hole diameter       (j3.175mm collet) 
§-基板厚度:        0.3 ~ 6.0mm
  Panel thickness
§-基板尺寸:        X/Y：310*220mm(Min.)
  Panel size               800*620mm(Max.) 
§-鑽軸間距X:              300mm ~ 740mm
  Spindle distance Y   0 ~ 600mm
§-影像視野 FOV:         12.8mm X 9.6mm
-產能(*):                   ~4 s./2-hole
  Productivity             ~7 s./3-hole (3rd hole NC加工)
                                ~16 s./7-hole (inner 3 holes NC加工)
                                *使用標準測試板不含排出時間
                                Use standard panel & exclude unloading time
§-鑽靶精度(**):           ±10mm (鑽靶中心 Mark center)
  Drilling accuracy      ±15mm (多點補償 Multi-pointcompensation)
                                 **使用標準測試板
                                Use standard panel
§-鑽軸型式:                NSK無刷馬達(brushless motor spindle)
  Spindle type
§-鑽軸轉速:                0 ~ 40,000 rpm (可調 Programmable)
   Spindle rotation speed
§-鑽軸同心度偏移:     ≦1 um
   Spindle run out
§-X-ray安全規範:        U.S.A radiation safety
  X-ray safety:           Data Sheet 5900-0063 Rev. 1
§-X-ray tube               50kV, 1.0mA (Max.)
§-X-ray leakage          ≦0.5 mSv/H (on system surface)
§-電源需求                  AC220V±2%, 50/60Hz, 25A, 3P3W+G
  Power supply
§-空壓需求          0.6m3/min, 5.5kg/ cm2
  Compressed air
-集塵需求          6.0m3/min, j50mm x 2
  Dust collector
§-機台尺寸          D2440/W1605/H1630mm
  Dimension
§-重量Net Weight        2,780Kg