超純水的整個工藝流程是先經過預處理，然後加藥殺毒，再經過RO反滲透系統，再使用離子交換混床或者EDI設備制取超純水。
       由於超純水對水質的BOD和TOC等物質的含量要求比較高，所以一般會採取二級反滲透，後面的工藝比則採取離子交換混床或者EDI的技術。

       離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水中的陰離子（HCO3-等離子）與交換柱中的陽樹脂的氫根離子和陰樹脂的氫氧根離子進行交換，從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求。
       離子交換法是目前國內外制水行業普遍採用的較為理想的方法，也是最經濟有效地化學法之一，離子交換是一種用陰陽交換樹脂對離子的選擇性及平衡反應原理，去除水中電解質離子的技術。其特點是利用離子交換樹脂在水中和鈣、鎂及鈉離子接觸交換，從而得到優質純水及高純水，水質安全可靠，是一套完整成熟的制水工藝，現廣氾為廣大用戶認可。
        EDI作為制取超純水的設備，作為反滲透設備后的二次除鹽設備，可以制取出高達10-18.2MΩ.CM。EDI設備無需化學藥劑的再生，可以連續運行。在具體的應用中，僅調節EDI的運行電流就可以改變其出水水質。因此廣氾用於微電子工業，半導體工業，發電工業，製藥行業和實驗室。也可以作為製藥蒸餾水、食物和飲料生產用水、發電廠的鍋爐的補給水，以及其它應用超純水。
       連續電除鹽（EDI，Electro deionization或CDI，continuous electrode ionization），是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程。這一過程離子交換樹脂是電連續再生的，因此不需要使用酸和碱對之再生。這種新技術可以替代傳統的離子交換裝置，生產出高達18M-CM的超純水。又可以比較清晰地描述：EDI是利用陰、陽離子膜，採用對稱堆放的形式，在陰、陽離子膜中間夾着陰、陽離子樹脂，分別在直流電壓的作用下，進行陰、陽離子交換。而同時在電壓梯度的作用下，水會發生電解產生大量H+和OH-，這些H+和OH-對離子膜中間的陰、陽離子不斷地進行了再生。由於EDI不停進行交換——再生，使得純水度越來越高，所以，輕而易舉的產生了高純度的超純水。
        EDI技術是由電滲透和離子交換有機結合形成的一種新型膜分離技術。借助離子交換樹脂的離子交換作用與陰、陽離子交換膜對陰、陽離子的選擇性透過作用，在直流電場的作用下，實現離子定向遷移，從而完成水的深度除鹽。由於離子交換、離子遷移及離子交換樹脂的電再生相伴發生，猶如一個邊工作邊再生的混床離子交換樹脂柱，可以連續不斷地制取高質量的純水、高純水，因而又稱連續去離子（continuous deionization,簡稱CDI）。