硅芯電阻測試儀
硅芯電阻率測試儀是按照我國國家標準GB/T1551-1995及美國材料與試驗協會（ASTM）推薦的材料驗收檢測方法設計。它適合於測量橫截面面積均勻的圓型，方型或矩形單晶錠的電阻率，在硅芯、檢驗棒電阻率測量上測量精度準確。由於硅芯電阻率測試儀的測量電流是從長棒兩端進出，遠離電壓測量探針，因此減少了電流流過金屬與半導體接觸處產生的許多副效應，如珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等，使得測量精度大大提高。
產品特點
本儀器主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試台及兩探針頭組成。儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表（以萬分之几的精度）適時監測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恆流源，使測量電流高度穩定。本機配有恆流開關，在測量某些材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護被測材料。儀器配置“小游移探針頭”，間距為1.59mm的兩探針頭探針游移率在0.2%以下。保証了儀器測量電阻率的重複性的準確度。本機配用專業測量軟件，設計語言為VC++，可對四探針、兩探針電阻率測量數據進行處理並修正測量數據，特定數據存儲格式，顯示變化曲線、正反向電阻率平均值、電阻率的最大值、電阻率最小值，給測量帶來很大方便。
兼容性：適用於通用電腦，支持Windows XP、Vista。
技術參數
測量範圍
■ 可測硅晶體電阻率：0.005-50000Ω·cm
■ 可測硅棒尺寸：最大長度300mm；直徑20mm（均可按用戶要求更改）。
恆流源
■ 輸出電流：DC0.001-100mA 五檔連續可調
■ 量程：
0.001-0.01mA（1-10μA）
0.01-0.1mA（10-100μA）
0.1-1.0mA
1.0-10mA
10-100mA
■ 恆流精度：各檔均優于±0.05%
直流數字電壓表
■ 測量範圍：0-199.99mV
■ 靈敏度：10μA
■ 基本誤差：±（0.004%讀數±0.01%滿度）
■ 輸入阻抗：≥0.3%
電阻測量誤差
■ 誤差：≤0.3%
探針參數
■ 兩探針頭
■ 探針間距：1.59±0.01mm 探針直徑Φ0.8mm
■ 游移率：＜0.2% 探針材料：硬質合金（WC）
■ 探針壓力：3±1N/單針
供電電源
■ AC 220V ±10% 50/60 Hz. 功率：12W
使用環境
■ 溫度：23±2℃ 相對溫度：≤65%
■ 無較強的電場干擾，無強光直接照射。
重量、體積
■ 主機重量：7.5Kg