COXEM Co.，Ltd 專門製造掃描電子顯微鏡的全球化企業，自2007年成立以來，業務發展迅速，已成為全球主要掃描電鏡製造商之一。自2011年5月，COXEM在中國設立直銷辦公室，配置專家級掃描電鏡應用工程師和維修工程師，向中國顧客提供優質掃描電鏡產品和服務。

性能指標：
分辨率： 3.0nm (30kV, SE image) 10nm（3KV,SE image）
                  4.0nm (30kV, BSE image) 可選
放大倍數：10x~300,000x（WD=5mm）
加速電壓 0.5kV~30kV
電子槍：三級自給偏壓，偏壓電阻可自動/手動調節，預對中發叉式鎢絲陰極
透鏡系統：三級電磁透鏡 2 個聚光鏡，一個園錐形物鏡
物鏡光闌： 4 孔可變光闌，搖擺對中合軸
圖像電位移和電旋轉：±50 ? (WD: 10 ㎜)； 0-360°無限
樣品室：內徑φ210mm ，可擴展接配EDS,BSE，WDS 等探測器
樣品台及行程： 五軸手動機械對中樣品台
                              X: 65 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
最大樣品尺寸：130mm(直徑) X 71mm (高度)
樣品台控制方式：自動/手動
操作系統: PCI、USB 接口的PC 機控制, 奔騰4 兼容機，Windows XP, 19 英吋彩色顯示器，圖形用戶界面（GUI）嵌入多種圖像實時分析測量工具，鼠標鍵盤操作
自動功能: 自動聚焦，自動亮度對比度，自動消象散，自動電子束對中，自動物鏡光闌合軸，自動電子槍加飽和，自動電子槍偏壓，動態聚焦，傾斜補償。
掃描模式:屏幕選區模式: 320 x 240 像素
                TV 屏幕掃描模式：640 x 480 像素
               全屏慢掃描模式: 800 x 600 像素 (3 檔速度)
               分屏掃描模式：1200 x 600 像素 (SE BSE 雙信號)
                全屏照相獲取模式 1: 1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840 像素
                 波形觀察模式
圖像格式 JPG, TIFF, BMP
語言英語
真空系統:全自動高真空系統，樣品室處真空度優于1x10-5 Torr，真空度實時顯示.渦輪分子泵260 升/秒 + 旋片式機械泵100L/min
外形尺寸和重量:主機: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350 ㎏
                             電腦桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安裝要求：電源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
地線：獨立地線1 條，小於等於100Ω
溫度：15℃~30℃
濕度：小於等於70 %
交流磁場：小於等於0.3 uT
地面振動：5 um/sec Max.
門寬 900mm 或更寬
如有需要請與我司聯繫