分辨率/重複精度為0.1/0.5 μm時，精度可高達（1.1+0.6L/600） μm。
確保垂直度（前部）達6 μm，直線度達4 μm。
全/半空氣浮動系統可調節氣墊高度。
帶有基本統計功能，另外，通過RS-232C數據輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，可實現外部測量數據評估。
高度儀可半自動測量時具有單鍵操作功能。
通過Digimatic工具實現數據輸入。
為方便用戶操作，可選擇多種信息語言包括英語、德語、法語、西班牙語、意大利語、荷蘭語、葡萄牙語、瑞典語、捷克語、匈牙利語、斯諾文尼亞語、波蘭語、土耳其語、繁體中文*、朝鮮語**和日語。
可選 **僅限518-341K和518-342K型。