CRBR型外延爐尾氣淨化器是在我公司引進美國先進技術以及結合我公司十幾年的設計生產經驗而研發出的新型外延爐尾氣淨化器，是迄今為止最高效、最可靠、最低成本的Epi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD化學氣相沉積工藝尾氣處理設備。

CRBR型外延爐尾氣淨化器的成功研發，解決了SiO2粉塵在進氣口的堵塞問題這一行業難題；由於該產品採用了本公司研製的先進進氣技術和承插式活動進氣套管，無需停機的清除粉塵的裝置，使得該洗滌器的一次維護時間可長達半年之久。這一優異性能帶來了設備更長的正常運行時間、更高的產量、更優異的工藝穩定性和更高的安全性。

與同行業相關洗滌淨化器相比，本公司研製的CRB型外延爐為其淨化器有着諸多卓越性能：

淨化效率更高

使用成本更低

操作維護更方便

進氣口設置更科學

維護停機時間更短

負壓穩定性更好

安全可靠性更高

設備體積同行業更小

通過使用商反饋數據表明：即使在最苛刻的pi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD工藝條件下使用，經過洗滌器的HCl廢氣在洗滌器的排放口仍在1ppm以下，SiO2粉塵去除率高。

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