電力

AC380　3P　50Hz　150A

有效曝光面積

1200mm×820mm

使用光源

採用進口10KW鹵素燈管2支

燈管冷卻方式

內/外高純度石英玻璃管，配合冰水間接冷卻

台面冷卻方式

氣冷式直接冷卻曝光台面

曝光台面

上框採用MYLAR（平面與凹凸均可提供）
下框採用進口強化玻璃，上下框採用電磁鎖

操作方式

採用人機介面控制（中，英文可切換）

真空度

採用數位式真空表

台面均勻性

80%以上

燈管壽命

保固800小時

機台尺寸

長3250+700(踏板)X寬1750X高1900+200(懸臂)mm

冰水用量

40L/min

機台重量

約1500Kg

Exposure drawer

upper drawer use mylar .
down drawer use glass.

Power supply

AC 380V, 3P, 50Hz , 150A.

Effective exposure area

1200×820mm

Light source

10KW metal halid-Lamp. 2pcs

Cooling system of lamp

direct cooling with cooled air .

Cooling system of drawer

direct cooling with cooled air .

Operation

Intelligent LCD controller with English and Chinese language

Vacuum

Dry vacuum pump .

Uniformity

up 80%.

Life of lamp

More than 800 hr.

Dimension

3250+700(W)X1750(D)X1900+200(H)mm

Weight

1500KG