概述:
由於一般液氬汽化后未經過純化處理,它的氧含量一般在2ppm-5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此範圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質量,所以往往給生產產品質量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質量如何,只要經過純化裝置的處理后,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恆定的。一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有保証的。
二、技術參數:
1、處理氣量: 50Nm3/h
2、工作壓力: ≤0.8Mpa
3、氬氣來源: 液氬 >99.9%
4、氬氣純化后: O2≤1ppm CO2≤1ppm
H2O≤1ppm
5、裝機功率: 9KW
6、電 源: 380V 50HZ
7、材 質: 304
8、管路、閥門為食品級
9、容器材質:304
三、設備構成:
1、脫氧器 2只
2、再生冷卻器 2只
3、冷卻器 2只
4、吸附乾燥器 2只
5、精密過濾器 1只
6、不鏽鋼球閥、管路 1套(食品級)
7、金屬轉子流量計 1台
8、電氣控制 1套(含溫度調節儀、固態繼電器、富士、施耐德電氣元件、熱電偶)
9、機櫃 1台
四、工程服務
(1)供方提供下列服務
A.運輸前設備及備件均應齊套,裝箱清單與實物相一致
B.提供設備平面佈置圖紙
C.指導設備現場安裝
D.負責設備現場調試
E.設備調試合格后提供設備操作維護手冊
F.現場培訓操作人員
(2)用戶的責任
需方對下列條款負責
獨立配電線路(電源380V 50HZ)
A. 提供設備用地範圍的平面圖
B. 負責提供水電條件
C. 配備相應的人員現場配合安裝和調試