Model

CY-O1200-4CPECVD

Tube Furnace

Display

LED

Max. Temperature

1200℃

Continuous Woking Temp.

≤1100℃

Heating Rate

0~20℃/min

Temperature Zone

Single

Accuracy

±1℃

Tube Size

Ф80mm x 1200mm

Temperature Control

PID automatic control via SCR power control

Heating curves

30 steps programmable

Power

220V, 50 Hz, single phase at max. 4KW

Plasma RF Power 
supply 

Output Power

5 -500W adjustable with ± 1% stability

RF frequency

13.56 MHz ±0.005% stability

Reflection Power

200W max.

Matching

Automatic

RF Output Port

50 Ω, N-type, female

Noise

<50 dB. 

Cooling

Air cooling.

Power 

220V, 50Hz

Ditial Vacuum Gauge

3.8x10-5 to 1125 Torr measurement range

Anti-corrosive, gas-type independent 

Vacuum Pump and valve

Heavy Duty Rotary Vane Vacuum Pump with max. vacuum pressure 10-2 torr.

KFD25 adapter and stainless steel pipe are connected between pump and tube flange with precision ball valve

Digital vacuum pressure gauge and display are installed with the furnace

Mass Flow meters

Four precision mass flow meters :

MFC 1: Gas flow range from 0~100 sccm

MFC 2&3: Control range from 0~200 sccm  

MFC 4: Control range from 0~500 sccm

One gas mixing tank is installed on bottom case with liquid release valve

4 stainless steel needle valves is installed on left side of bottom case to control 4type gases mixing manually

Gas inlet fitting: four 1/4NPS

Gas outlet fitting: four 1/4NPS