美國AE FC-7800CD金屬密封質量流量控制器

產品描述

受了要求最苛刻的工考Advanced Energy的 Aera® FC-7800 系列提供精確的流量控制以及佳的阻性能和超高防漏的金屬密封，合大部分氣體控制用。

准或 Aera 獨有的子接器等提高了方便性的功能，能夠快速、松地替有的量流量控制器(MFCs)。

優勢	特點
快速——置點之的流量澱不到2秒無與倫比的可靠性——一年零漂移不到度流量的0.5% 易於整合——准連接器和尺寸出色的效果——薄膜的特性	防腐金屬密封 VCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性連接全金屬密封度流量范10 sccm-200 slm 常或常的磁控制洩漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He