質量流量控制器

產品描述

2179是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，它帶有一個關閉閥，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量。配上合適的壓力傳感器，它還可以用作壓力控制器。

常閉的氣密關閉閥門正向關閉時的洩漏量僅為4 x 10^-9 scc/sec（He）。它具有數字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1％和讀數的1％。2179具有很小的功耗：在常規直流±15V供電工作時，單元電流僅有100mA（在最初開機階段為200mA）。