一、公司基本情况
安徽易芯半导体有限公司成立于2016年9月,坐落于合肥新站高新区,主要从事大尺寸半导体硅晶体与硅片、全自动硅晶体生长炉的研发、生产、销售以及技术服务;是中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、合肥市半导体行业协会会员单位。
公司自主研发的12英寸及以上硅晶体生长炉属于大陆首台套产品、全自动晶体生长控制系统的核心技术与工艺均填补了国内空白,达到国际先进水平,并掌握了12英寸芯片级单晶硅片的产业化经验。
公司项目总投资(一二期)17亿元。目前,公司一期项目上线的8条12英寸单晶硅生产线,已经陆续投产。年产12英寸电子级单晶硅棒150吨(成品)。
二、技术与产品研发
公司现有30人组成的科研团队,其中核心技术骨干8人,核心技术成员人均在半导体芯片材料领域从业近20年,大部分来自于原上海有色金属研究院下属的军工国企——上海硅材料厂。技术带头人马四海曾担任世界第二大超重掺晶体和世界第六大半导体硅材料公司技术总工。
2008年正式启动12英尺电子级单晶硅材料的研发,2015年12英尺硅片(抛光前)产品通过国家有色金属及电子材料分析测试中心的检测,检测结果显示:电阻率均匀性、氧含量、碳含量、径向电阻率变化等指标均达到国际标准。
研发历程图
目前,中国大陆能够全方位掌握12英寸电子级硅晶体生长炉(设备)、晶体生长控制系统(软件)和12英寸硅晶体生长技术(工艺)等全套技术工艺的仅本公司一家。技术成果已经申请国家专利19项,成果形成的产品有4项:
(1)12-16英寸电子级单晶硅棒;
(2)12-16英寸电子级硅晶体生长炉(是国外同类产品价格的七分之一);
(3)全自动硅晶体生长控制系统;
(4)12英寸电子级硅抛光片(需等到二期上线)。
值得重点突出汇报的是:目前,我们已经拿到国内某12英寸晶圆厂(19nm制程)所需3个规格硅片的参数,通过内部实验测试对比,有2个规格的硅片参数完全满足,另有1个规格的硅片尚有两个参数需要进一步送样到国外检测。如果这两个参数检测通过,意味着我们的12英寸硅片将满足19nm晶圆制程的需要(满足韩国三星、美国格罗方德等主流芯片工艺的需求)。
三、项目建设与发展规划
一期:8条12英寸单晶硅生产线,已经投产,生产规模已经成为中国大陆最大的12英寸电子级单晶硅棒生产基地;
二期:年产60万片的12英寸电子