1. 高流量、低压差、绝对孔径过滤器、使用寿命长。 2.制作滤芯采用热熔技术,不需要添加剂。因此无任何溢出。 3.过滤精度依材质可选择0.1 um到 20 um 绝对孔径 4.使用于5、6代大型液晶厂基板清洗、蚀刻及高精度过滤制程之应用。 5.制造环境为 class 1000等级无尘室。