本款高流量滤芯 专业取代 PALL  upk610 系列高流量滤芯，
  同时取代 entegris  SV10R 系列高流量滤芯。

PFP 系列滤芯特点：

1.高流量、低压差、绝对孔径、使用寿命长

2.制作滤芯采用热熔技术，不添加任何粘结剂，因此无任何添加物释出。

3.适用于第7、第八代大型液晶厂基板清洗、蚀刻及高精度过滤制程之应用。

4,。制造环境为 CLsss 1000d 等级之无尘室。