手动硅片清洗设备

◆ 可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。

◆ 功能槽包括：加热酸缸、HF腐蚀、BHF（HF恒温缓冲腐蚀）、超声清洗槽、恒温水浴、QDR（快排冲水）、电炉等。

◆ 清洗功能槽模块化，各部分有独立的控制单元，可随意组合。

◆ 关键件采用进口部件，提高设备的可靠性及使用寿命。

◆ 采用进口耐腐蚀PP板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蚀。

◆ 控制系统的元器件具备防腐、防潮功能，确保安全的工作环境。

◆ 结构紧凑，占地面积小，造型美观、实用。

◆ 操作符合人机工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、灵活。

◆ 闭式清洗，有效改善工作环境，保障操作人员安全