型号: | CSE-SC09-MUX |
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品牌: | CSE |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 通用机械 / 清洗、清理设备 |
标签︰ | 甩干机 , 甩干设备 |
单价: |
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最少订量: | 1 件 |
设备概述:
硅片甩干机是由该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主要用于硅圆片、掩模版、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。
1甩干机机型
双工作腔结构,最大加工片子直径φ150mm。S为双片盒结构.
2系统构成
整机采用双工位(或单工位)层叠、积本式组合结构,每个工位可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警、系统洁净化处理在内的全自动工艺处理过程。
3结构原理与特点
(1)洁净化处理技术 ⑵ 大功率无刷电机驱动
⑶ 清洗工作腔体 ⑷ 转轴氮气密封技术
⑸ 去离子水控制 ⑹ 防静电控制
⑺ 防震、隔震技术 ⑻ 测速、计数控制技术
⑼ 制动控制技术 ⑽ 系统控制技术
⑾ 工艺处理软件 ⑿ 颗粒控制性能
⒀ 安全及防护处理 ⒁ 门位置状态监控与互锁
⒂ 生产技术
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司 | |
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国家/地区︰ | 江苏省南通市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 18112237969 |
联系人︰ | 王丽娟 (销售) |
最后上线︰ | 2014/06/28 |