设备概述:

硅片甩干机是由该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主要用于硅圆片、掩模版、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。

1甩干机机型
    双工作腔结构，最大加工片子直径φ150mm。S为双片盒结构.

2系统构成

整机采用双工位（或单工位）层叠、积本式组合结构，每个工位可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警、系统洁净化处理在内的全自动工艺处理过程。

3结构原理与特点

  (1)洁净化处理技术     ⑵ 大功率无刷电机驱动

⑶ 清洗工作腔体       ⑷ 转轴氮气密封技术

⑸ 去离子水控制       ⑹ 防静电控制

⑺ 防震、隔震技术     ⑻ 测速、计数控制技术

⑼ 制动控制技术       ⑽ 系统控制技术

⑾ 工艺处理软件       ⑿ 颗粒控制性能

⒀ 安全及防护处理     ⒁ 门位置状态监控与互锁

⒂ 生产技术