太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。

◆工作温度：300~1300℃ 
　　◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制 
　　◆恒温区长度：1080mm（可根据用户要求定制） 
　　◆温区精度（静态闭管测试）： 
　　600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃ 
　　300℃≤工作温度≤600℃：±1℃ 
　　◆单点温度稳定性（静态闭管测试）： 
　　600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h 
　　300℃≤工作温度≤600℃：±1℃/24h 
　　◆温度斜变能力： 
　　最大可控升温速度（300～1300℃）：15℃/min 
　　最大降温速度（1300～900℃）：5℃/min 
　　◆气体流量设定精度：±2％FS 
　　◆气路系统气密性：1×10-7PA.m3/s 
　　◆自动送料装置行程：~2000mm 
　　速度：5~1000mm/min 
　　SiC浆承重19kg 
　　◆装片数量400片/管 
　　◆净化台洁净度100级（10000级厂房） 
　　◆三相五线制380V±10%，50Hz±10%Hz； 
　　◆冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min