型号: | frd-912 |
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品牌: | 福润德 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 气氛管式炉 , 高温管式炉 , 电阻炉 |
单价: |
¥6000
/ 件
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最少订量: | 1 件 |
信息描述:
1.设计温度:1200℃
2.炉膛材质:优质气炼石英管
3.恒温区:根据客户要求(恒温区内温差±1℃)
4.控制温区点数:石英管外3个测温点,采用3支铂铑热电偶;石英管内1个固定测温点,采用K型热电偶;石英管内1个可移动测温点,K型热电偶,用于测量温度分布及校准。
5.加热元件:优质电阻丝
6.最大加热功率根据工艺要求而定
7.气路配件材料卡套密封;两路气体采用质量流量计控制,方便设定气体流量。
8. 极限真空预抽真空 :一级机械泵2X—4(1.0Pa 10min)
9. 外形参考尺寸可定
10. 控温精度:±1℃。
11. 电源:三相五线制,AC380V 50Hz。
12. 温控表:日本岛电,25段可编程序。
13. 控制方式:过零触发。
14. 真彩触摸屏+PLC程序控制
15. 气路系统气密性:1×10-7 Pa·M3/S
16. 最大升温速率:15℃/Min
17. 质量流量计精度等级:0.2%FS—0.5%FS:
18. 质量流量计测量范围:依据客户工艺选择
19. 每台流量计前各有一个过滤阀
20. 每条管路各配有一个单向阀来杜绝气体的倒流。
21. 工作腔体压力通过数字真空计直观显示。
22. 工艺气体在进入工作腔体前经过混气包来实现工艺气体按比例混合
23. 所有气路管件包括阀门均采用耐腐蚀不锈钢(可耐H2S气体高温工作环境)
青岛福润德微电子设备有限公司 | |
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国家/地区︰ | 山东省青岛市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13658669338 |
联系人︰ | 颜廷福 (销售经理) |
最后上线︰ | 2017/09/15 |