Aerotech超精密气浮转台

 

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自1970年Aerotech开始研制最高性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及医学设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，航空和国防，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。

ABRS超精密转台

ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供出众的角度定位精度，卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高精度测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及纳米制造技术。

特点:

1. 无刷无槽力矩电机直接驱动
2. 卓越的速度稳定性（无齿槽效应）
3. 极佳的运动性能，误差小，无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 扁平结构设计
6. 气浮轴承，无机械接触

台面直径：128~278mm

反馈分辨率：0.036~0.18 arc sec

双向重复定位精度：<1arc sec

定位精度：2 arc sec

异步轴跳：20nm

异步径跳：20nm

 

1专为硅片检测，X射线衍射系统，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计

2无刷无槽伺服电机直接驱动

3突出的速度稳定性，波动率低于万分之一（电机无接头效应）

4卓越的运动性能,误差小,无抖动

5直联高精度旋转编码器

6扁平结构设计

7无机械接触

台面直径100-200mm

分辨率0.027-0.055arcsec

双向重复定位精度<1arcsec

定位精度<2 arc sec

异步轴跳<20nm

异步径跳<20nm