Aerotech超精密气浮平台

 

联系人 叶振南 13701246762 186-0036-4311

gkyezhennan@163.com

 

 

自1970年Aerotech开始研制最高性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及医学设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，航空和国防，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。

ABL1000气浮平台

1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达0.5nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.05um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

 

ABL1500直线电机平台

1专为高性能扫描和检测应用设计
2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4大负载高刚性几何特性极好
行程≤500mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

 

ABL2000气浮平台

1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um

 

ABL3600气浮平台

1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um

 

ABL8000气浮平台

1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.40um
平面度±0.40um

 

ABL9000气浮平台

1世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um

 

AHL9000直线电机平台

1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度±1.0um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.60um
平面度±0.60um

 

ABG10000气浮平台

1气浮导轨实现超平滑运动
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．
行程≤1000mm
精度±2um
重复定位精度±0.5um
直线度±1um
平面度±1um

 

ABRS旋转气浮平台

1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性（电机无接头效应）
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
双向重复定位精度<1arcsec

 

ABRT旋转气浮平台

1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动，高扭拒输出
3突出的速度稳定性（电机无接头效应）
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6超大的空心轴径，无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
双向重复定位精度<1arcsec

 

PlanarHD气浮平台

1最大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2最快的转向和最小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度±300nm
重复定位精度±50nm
分辨率0.25nm