电池硅片石墨舟石英舟扩散上下料机主要技术参数：

1．外形尺寸：石英舟下料机宽1.6 米X 长3.0 米X 高2.5 米
2．生产效率：8000 -12000片/小时
3．碎片率：≤0.3/1000（原碎片除外）
4．工位数：双工位
5．设备适用156×156 (±0.5mm) （6 英寸）硅片
适用蓝具为100 层石英舟载具.50 片塑料花篮。

电池硅片石墨舟石英舟扩散上下料机目地：

1．将石英舟内的硅片通过双吸盘机构吸取出，然后装进
塑料篮具内，以及把塑料花篮内的硅片通过双吸盘机构吸取
出，然后装进石英舟内。以供下一道工序使用。
2．适用尺寸：156×156 (±0.5mm)厚度为160～280μm 的方形
硅片。
3．操作方式：全自动