一、名称：8道全自动硅片刻蚀上料机     型号：QT-4000-8KSL

二、工艺

1．目的：上料机功能为将篮具上的硅片，通过皮带传送到排片系统中，并逐渐排成8道，然后再通过升降皮带机构导入到主线设备中，以供下一道工序使用。

2．适用尺寸：156.75×156.75，厚度为160～280μm的方形硅片。

3．操作方式：全自动

（1）设备结构原理：

8道全自动硅片刻蚀上料机8道全自动硅片刻蚀上料机正面8道8道全自动硅片刻蚀上料机侧面

8道全自动硅片刻蚀上料机

三、设备环境要求

1．电源：   220V 50-60HZ

2.总功率：3.0kW

3．洁净压缩空气：5~7 kg/cm2

四、主要技术参数

1. 外形尺寸：宽3.7米X长1.9米X高2.0米（长为主线硅片传输方向）
2. 生产效率：大于4000片/小时
3. 碎片率：≤0.5/1000（原碎片除外）
4. 工位数：左右双工位
5. 开机率：≥98%
6. 上传输高度为1160mm,下传输高度为450mm
7. 设备适用篮具为100层篮具，每边可预存花篮为5个
8. 设备预留MES接口。在远程控制通讯协议支持下，通过特定网络，在非现场或办公室可实现对设备的远端监视，包括设备运行状况、相关数据、时间和错误报警等