氧化扩散炉 高温氧化炉

氧化扩散炉 高温氧化炉
型号:cl
品牌:晨立
原产地:中国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰氧化炉 , 扩散炉 , 氧化扩散炉
单价: ¥200000 / 件
最少订量:1 件

产品描述

氧化扩散炉产品应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸
扩散炉产品特点:
◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行自动控制
◆采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等
◆关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用进口质量流量计(MFC)
◆控温精度高,温区控温稳定性好;
扩散炉主要技 术指标
◆工作温度:200~1300℃
◆加热体控制点:3/5点

◆炉体恒温区:450mm/600mm/800mm/1100mm
◆恒温区精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃
◆单点温度稳定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h
◆最大可控升温速度:15℃/min
◆最大降温速度:5℃/min(900~1300℃)
◆供电:三相四线,380VAC/50HZ
◆局部净化等级:100级。
◆氧化系统:干氧、湿氧(氢氧内外点火)
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会员信息

青岛晨立电子有限公司
国家/地区︰山东省青岛市
经营性质︰生产商
联系电话︰13869885308
联系人︰姜经理 (市场部)
最后上线︰2024/12/19