内应力双折射测量仪蓝宝石专用PA-300-XL SIC
| 型号： | PA-300-XL SIC |
|---|---|
| 品牌： | - |
| 原产地： | 日本 |
| 类别： | 电子、电力 / 仪器、仪表 / 分析仪器 |
| 标签︰ | 内应力 , 相位差差测量 , 双折射仪 |
| 单价： |
-
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| 最少订量： | 1 件 |
产品描述
在PA系类设备的基础上，加装晶圆专用的装置，可以高效精确的测量SIC和蓝宝石这类光学性能特殊的产品的双折射和残余应力的信息。
主要特点：
- 操作简单，测量速度可以快到3秒。
- 视野范围内可一次测量，测量范围广。
- 更直观的全面读取数据，无遗漏数据点。
- 具有多种分析功能和测量结果的比较。
- 维护简单，不含旋转光学滤片的机构。
- 高达2056x2464像素的偏振相机。
应用领域:
- SIC
- 蓝宝石
技术参数：
| 项次 | 项目 | 具体参数 |
| 1 | 输出项目 | 相位差【nm】，轴方向【°】，相位差与应力换算（选配）【MPa】 |
| 2 | 测量波长 | 520nm |
| 3 | 双折射测量范围 | 0-130nm |
| 4 | 测量最小分辨率 | 0.001nm |
| 5 | 测量重复精度 | <1nm（西格玛） |
| 6 | 视野尺寸 | 40x48mm到240x320mm（标准） |
| 7 | 选配镜头视野 | 不适用 |
| 8 | 选配功能 | 实时解析软件，镜片解析软件，数据处理软件，实现外部控制 |
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会员信息
| 北京欧屹科技有限公司 | |
|---|---|
| 国家/地区︰ | 北京市昌平区 |
| 经营性质︰ | 贸易商 |
| 联系电话︰ | 17600738803 |
| 联系人︰ | 王新波 (销售) |
| 最后上线︰ | 2020/04/20 |
