一、Laurell匀胶旋涂仪 650系列 产品特点：

（1）过程控制器：650 系列过程控制器利用强大的微处理器，并使用其随附的PC软件，使得在设置和使用时可以非常灵活的进行调整。该控制器允许操作员在流程执行期间实时交互，包括暂停时间、 停止并从这一点继续。

（2）系统外观材质：该系统的外壳通常采用的是NPP材质，这种材料能够抵抗溶剂和强酸、强碱。【选配】特殊的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF housing 外壳可用（常用于高温化学和亚微米颗粒研究）。

（3）Laurell自有的迷宫式密封可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺腔室提供氮气吹扫，并且在现场测试期间已被证明在亚微米水平上是无颗粒的。

（4）安全设计：与操作员电气隔离、门联锁以及组件的 UL 和 CSA 认证确保了多年的安全。当真空开关未接合且盖子打开时，联锁可防止旋转，所有Laurell系统均符合CE和RoHS标准。

（5）过程保障：所有 Laurell 过程控制器的“过程保护"功能可确保同一过程不会无意中在同一基材上运行。可以轻松绕过此功能以再次运行相同的进程，而无需打开系统，或者可以在over（循环）上运行序列。

 

二、Laurell匀胶旋涂仪 650系列 厂务条件：

（1）气源： 需要 60~70 PSIG （4–5 bar） 的氮气/CDA 对迷宫式电机密封件加压。（这种气体还会吹扫工艺腔室。气体消耗量非常低，每小时 3 立方英尺。）

（2）真空：建议在 25 英寸汞柱下使用 28–635 英寸（~711–4 毫米）汞柱的真空，流量为 5.0 SCFM（127.0 立方米/分钟）。

（3）电源：95~240VAC， 47/63HZ， 约300 W；

 

三、Laurell WS-650Mz-23NPPB 匀胶旋涂仪  技术参数：

（1）腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；

（2）Wafer芯片尺寸：10-150mm直径圆片，方片125x125mm；

（3）转动速度：100-12,000rpm；

（4）旋涂加速度：1-12000rpm/sec（空载）；

（5）马达旋涂转速：稳定性能误差<± 1 %；

（6）转速调节精度：1rpm，重复性1rpm；

（7）工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

（8）匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；

（9）设备控制器：PLC控制，按键式操作；

（10）程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；

（11）高认证：美国国家标准技术研究院（NIST）认证;

（12）配套真空泵系统：无 油 型 220~240伏交流，50/60赫兹；

（13）售后服务：提供上门现场 或 远程在线 安装培训，用户可灵活选择；

 

四、产品应用：

Laurell WS-650 系列通常用于溶剂、碱或 酸基加工：涂层、蚀刻、显影、漂洗干燥和 清洗。虽然支持所有这些过程，但由于已知材料，Laurell 建议仅一次性使用 冲突。例如，光刻胶和显影剂（交叉污染）， 和SC-1和SC-2（HCl + NH4OH）， 产生 NH4Cl， 危险的吸入风险。

*Laurell涂胶显影系列产品型号简介：

 

型号	控制器	大基板尺寸	大转速
650系列 匀胶旋涂仪
WS-650-23B	650 系列	ø150毫米（5英寸×5英寸）	12000rpm
WS-650-8B	650 系列	ø200毫米（7英寸×7英寸）	12000rpm
WS-650-15B	650 系列	ø300毫米（9英寸×9英寸）	12000rpm
EDC™系列 匀胶显影机
EDC-650-23B	650 系列	ø150毫米（5英寸×5英寸）	12000rpm
EDC-650-8B	650 系列	ø200毫米（7英寸×7英寸）	12000rpm
EDC-650-15B	650 系列	ø300毫米（9英寸×9英寸）	12000rpm