扩散炉

扩散炉
型号:-
品牌:福润德
原产地:中国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰扩散炉 , 双管扩散炉 , 四管扩散炉
单价: -
最少订量:-

产品描述

◆工作温度:300~1300℃
◆有效口径根据用户扩散片确定,可订制
◆恒温区长度:1080mm(可根据用户要求定制)
◆温区精度(静态闭管测试):
600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃
300℃≤工作温度≤600℃:±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试):
600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃/24h
300℃≤工作温度≤600℃:±1℃/24h
◆温度斜变能力:
可控升温速度(300~1300℃):15℃/min
降温速度(1300~900℃):5℃/min
◆气体流量设定精度:±2%FS
◆气路系统气密性:1×10-7PA.m3/s
◆自动送料装置行程:~2000mm
速度:5~1000mm/min
SiC浆承重 19kg
◆装片数量 400片/管
◆净化台洁净度 100级(10000级厂房)
◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷却水:2~4Kgf/cm2,~8L/min

扩散炉 1扩散炉 2扩散炉 3

会员信息

青岛福润德微电子设备有限公司
国家/地区︰山东省青岛市
经营性质︰生产商
联系电话︰15314229122
联系人︰岳晓茜 (经理)
最后上线︰2024/08/27